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许兴胜; 张道中;
中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室;
北京100083;
中国科学院物理研究所光物理重点实验室;
北京100080;
光子晶体; 微加工方法; 模板; 电子束曝光; 干法刻蚀; 半导体材料;
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机译:2 2二维非晶光子晶体结构的制造方法和二维非晶光子晶体结构
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