Ti70-xTa15Zr15Fex(x=0.3、0.6、1.0)形状记忆合金薄膜的马氏体相变与阻尼行为

摘要

采用磁控溅射制备Ti70-xTa15Zr15Fex(x=0.3、0.6、1.0,原子分数,%)合金薄膜,通过XRD、TEM、弯曲法和动态热机械分析研究Fe元素含量对合金薄膜组织结构、马氏体相变、力学性能和阻尼特性的影响。结果表明,Ti70-xTa15Zr15Fex(x=0.3、0.6、1.0)合金薄膜在室温下为母相与马氏体相共存,逆马氏体相变开始温度高于100℃,具有双程记忆效应。添加Fe元素可以提高薄膜的塑性和强度,延伸率可达到12.8%(x=1.0)。薄膜在升温降温过程中均可观察到较高的弛豫型内耗峰,当Fe含量为1.0%时,弛豫内耗峰最大值可达到0.116。