基于光纤传感的非球面面形在线检测法

摘要

机上在线面形检测方式有利于提高非球面的加工效率和精度。提出了一种基于光纤传感的在线面形检测方法,通过空气静压轴承探头和激光干涉位移计的有机融合构成检测系统。研究了面形误差数据处理方法,探讨了测量力与扫描速度对测量精度的影响。