CO_2激光器在光学元件表面处理中的应用

摘要

介绍了CO2激光修复光学元件表面损伤用其对基片表面缺陷进行抛光的原理、内容以及最新进展,分析了CO2 激光修复光学元件表面损伤对元件抗损伤阈值的提高所起的重要作用,并指出技术中存在的问题。