首页> 中文期刊> 《低温与超导》 >Nb/Al-AlOx/Nb超导隧道结的制备

Nb/Al-AlOx/Nb超导隧道结的制备

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

文献数据库（团队版） >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

在高阻硅衬底上采用光刻、直流磁控溅射、反应离子刻蚀(RIE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)等方法研究制备了高质量的Nb/Al-AlOx/Nb超导隧道结.在4.2K下,测量了直径8μm的圆形结样品,得到临界电流密度约为1.6kA/cm2,漏电流约为50 μA.制结工艺流程的重复性较好.

著录项

来源
《低温与超导》 |2015年第7期|19-21|共3页
作者
姚晓栋; 曹春海; 张广涵; 翟计全; 康琳; 许伟伟; 陈健; 吴培亨;
展开▼
作者单位

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

南京大学超导电子学研究所,南京210093;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
Nb/Al-AlOx/Nb; 超导隧道结; 制备工艺;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Nb/Al-AlOx/Nb隧道结制备中压控电压源阳极氧化工艺研究 [J] . 查士同 ,曹春海 ,许钦印 . 低温与超导 . 2010,第005期
2. NbN/AlN/NbN超导隧道结的制备工艺 [J] . 刘希 ,康琳 ,孙静 . 低温与超导 . 2007,第001期
3. Nb/A1- AlOx/Nb隧道结的制备研究 [J] . 肖伟 ,曹春海 ,李梦月 . 低温与超导 . 2012,第006期
4. 高质量的光刻胶图型及它对Nb/AlO_x-Al/Nb隧道结制备的影响(英文) [J] . 杜寰 ,赵士平 ,王瑞峰 . 低温物理学报 . 1998,第6期
5. 耐熔金属约瑟夫逊隧道结制备中Nb／AlO_x－Al／Nb结构质量的检验 [J] . 陈赓华 ,韩智毅 ,杜寰 . 低温物理学报 . 1996,第6期
6. NbN/AlN/NbN超导隧道结的制备工艺 [C] . 刘希 ,康琳 ,孙静 . 第九届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议 . 2006
7. Nb/Ti复合法NbTi超导体的制备工艺与性能研究 [A] . 谢宝海 . 2004

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号