无氢脱氧催化剂制备高纯气及保护气

摘要

前 言 惰性气体的脱氧方法文献报导很多,而工业上应用最多的是吸附法、低温精馏法和催化法。传统的催化脱氧法有以下两种: (1)采用贵金属为催化剂、利用氢氧反应生成水的原理来脱除氧。经分子筛吸附水后便可制得高纯气。此法在净化后的气体中含有少量的氢,因此对电子、半导体等行业中忌氢的工艺系统不能采用。