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IC工厂水的回收与回用

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摘要

针对不同的芯片工厂类型的用水特点,提出不同的纯水回用方法.

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来源
《洁净与空调技术》 |2007年第4期|55-58|共4页
作者
王凌旭;
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作者单位

世源科技工程有限公司;

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正文语种 chi
中图分类房屋建筑设备;
关键词
分质回收; 纯水回用;

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