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表面洁净度分级和清洁方法介绍

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科研生产受控环境的污染,通常研究的是空气中悬浮粒子和生物污染.随着科技的发展,人们关注空气分子污染AMC和表面污染.提供一些信息资料供读者参考.

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来源
《洁净与空调技术》 |2014年第3期|54-57|共4页
作者
李立; 王大千;
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作者单位

中国电子学会洁净技术分会;

中国电子学会洁净技术分会;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
分级; 信息; 清洁;

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