基于伺服电机的多波形旋转控制研究

摘要

在碲锌镉单晶体生长系统中,为了探讨碲锌镉晶体生长规律,要求坩埚在炉膛内有梯形波、三角波、方波、正弦波等多种旋转方式;为此,提出了利用交流伺服电机、双AT89S51单片机及D/A转换器等部件设计控制系统的想法;通过硬件设计,优化算法,软件编程实现了坩埚的多波形旋转控制;经过反复调试伺服控制器的PID 3个参数的数值,最后找到了实现无差、无延时跟踪的最佳PID控制参数,满足了设计要求.将它安装在晶体生长炉上,经过投料、试生产,长出了合格的碲锌镉单晶体.