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基于Simul8的半导体生产线建模关键技术研究

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摘要

在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想,给出了各自基于Simul8的实现方法.对于高度复杂的动态加工区,给出了3种解决方法,从仿真速度上比较其优劣.仿真应用表明,提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能,使仿真指导生产具有可行性.

著录项

来源
《计算机工程》 |2006年第19期|248-250|共3页
作者
方明; 乔非; 刘文胜; 许潇红;
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作者单位

同济大学电子与信息工程学院;

上海;

200092;

同济大学电子与信息工程学院;

上海;

200092;

上海贝岭股份有限公司;

上海;

200233;

同济大学电子与信息工程学院;

上海;

200092;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算机仿真;
关键词
建模仿真; 动态加工区; 二级缓冲区; 存储空间;

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