用正交试验方法优化IC工艺条件

摘要

本文用正交试验方法，对某种汽国专用ＩＣ工艺进行试验，找到良好的工艺条件．在做重复性试验之后，用单因素方差分析方法，找到最佳工艺条件．并从理论上分析器件参数随工艺条件变化的规律．使该电路在大批量生产过程中，成品率提高３０％以上，产生了较大的经济效益．