ZnS光学材料均匀性高精度测量技术研究

摘要

干涉测量方法作为材料均匀性绝对测量的测量方法，能去除干涉仪标准面及待测元件的面形影响，具有很高的测量精度。详细介绍了使用干涉手段测量ZnS光学材料折射率均匀性的方法，并通过改进设备，实现了大口径ZnS光学材料均匀性的绝对检测，检测精度不受光学零件面形精度的影响，测试精度为5×10-7。