—种利用白光光谱仪测量绝对距离的方法研究

摘要

本文研究利用一种白光光谱仪测量绝对距离和位移的方法。利用迈克耳逊干涉结构，使用光谱仪S2000，进行光谱分析，在知道光学元件的群折射率和厚度的情况下，利用均衡波长的概念就可以得出绝对距离。该方法不需要应用相位重现程序，其测量范围大大超过传统白光干涉技术的测量范围，为绝对距离的测量提供一些详尽的参考。