离子注入法在稀土发光研究中的应用

摘要

＜正＞ 离子注入法是半导体掺杂工艺中的一种极重要手段。即是在真空中将填加粒子离子化,并经静电高能加速后注入到固体基板上。这一方法,自七十年代初期从半导体工艺中移植出来后,已被广泛用于各种非半导体材料的改性、合成等方面,特别是在表面化学研究中获得了显著进展。离子注入法用于发光研究是一个正在被开拓的新领域,用于稀土发光研究更是一种