Preparation of hydrogenated microcrystalline silicon films with hot-wire-assisted MWECR-CVD system

著录项

• 来源
  《中国物理：英文版》 |2006年第4期|P.866-871|共6页
• 作者

  何斌; 陈光华; 朱秀红; 张文理; 丁毅; 马占杰; 郜志华; 宋雪梅; 邓金祥;

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• 作者单位

  College;

  of;

  Material;

  Science;

  and;

  Engineering;

  Beijing;

  University;

  Technology;

  100022;

  China;

  School;

  Physical;

  Lanzhou;

  730000;

  Applied;

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• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜物理学;
• 关键词

  氢化微晶硅薄膜; HW-MWECR-CVD; 氢稀释; 薄膜物理学;

  机译：氢化微晶硅薄膜;HW-MWECR-CVD;氢稀释;薄膜物理学;