An efficient numerical approach to electrostatic microelectromechanical system simulation

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• 来源
  《中国物理：英文版》 |2009年第11期|4769-4776|共8页
• 作者

  Li Pu;

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• 作者单位

  College of Mechanical Engineering Southeast University Nanjing 211189 China;

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• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);中国科技论文与引文数据库(CSTPCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 物理学;
• 关键词