Research on the boron contamination at the p/i interface of microcrystalline silicon solar cells deposited in a single PECVD chamber

著录项

• 来源
  《中国物理：英文版》 |2009年第10期|P.4558-4563|共6页
• 作者

  张晓丹; 孙福和; 魏长春; 孙建; 张德坤; 耿新华; 熊绍珍; 赵颖;

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• 作者单位

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• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);中国科技论文与引文数据库(CSTPCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 物质分离机械;
• 关键词

  硅太阳能电池; PECVD; 硼污染; 接口; 氢等离子体处理; 反应室; 存放; 微晶;

  机译：硅太阳能电池;PECVD;硼污染;接口;氢等离子体处理;反应室;存放;微晶;