Diagnosis of a low pressure capacitively coupled argon plasma by using a simple collisional-radiative model

著录项

• 来源
  《中国物理：英文版》 |2011年第1期|P.486-492|共7页
• 作者

  虞一青; 辛煜; 宁兆元;

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• 作者单位

  Jiangsu;

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  Physical;

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  Technology;

  Soochow;

  University;

  Suzhou;

  215006;

  China;

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• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);中国科技论文与引文数据库(CSTPCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 激光物理和基本理论;
• 关键词

  电子碰撞激发; 辐射模型; 氩离子; 容性耦合; Langmuir探针; 低气压; 等离子体辐射; 无线电频率;

  机译：电子碰撞激发;辐射模型;氩离子;容性耦合;Langmuir探针;低气压;等离子体辐射;无线电频率;