A growth kinetics model of rate decomposition for Si1-xGex alloy based on dimer theory

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• 来源
  《中国物理：英文版》 |2014年第1期|284-288|共5页
• 作者

  Dai Xian-Ying; Ji Yao; Hao Yue;

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• 作者单位

  School of Microelectronics, Xidian University, Xi'an 710071, China;

  School of Microelectronics, Xidian University, Xi'an 710071, China;

  School of Microelectronics, Xidian University, Xi'an 710071, China;

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• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);中国科技论文与引文数据库(CSTPCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词