光调制技术及器件

摘要

TN761 98053328单晶硅空间光调制器=Single crystalline siliconspatial light modulator[刊,中]/高教波,叶克飞,李静,冯曰友(西安应用光学研究所。陕西,西安(710065))∥应用光学。—1997.18(3).—46—48介绍快速响应单晶硅空间光调制器件的结构、工作机理、制作工艺、性能参数。空间光调制器的极限分辨率为401 p/mm,口径为40 mm,在930写入光灵敏度为20μw/cm^2,响应时间为15ms。图5(严兰)