薄膜光学理论

摘要

O484.4/O482.31 95021071用等离子体增强化学汽相沉积方法制备纳米晶粒硅薄膜光致发光=Photoluminescence from nano—crystallites of silicon films preparaed byPECVD[刊,中]/刘湘娜,吴晓薇,鲍希茂,何宇亮(南京大学物理系,固体微结构国家重点实验室)∥物理学报.—1994,43(6).—985—989报道用高氢稀释硅烷为反应气源。