TN241 2002031768HfC2/SiO2高反射膜的缺陷及其激光损伤=Relationbetween laser damage and defects of HfO2/SiO2HR coatings[刊,中]/胡建平,陈梅,付雄鹰,柴林(成都精密光学工程研究中心.四川,成都(610041))//强激光与粒子束.-2001,13(5).-529-532用原子力,Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器,对高损伤阈值薄膜常采用的HfO2/SiO2薄膜进行了表面显微图像研究,分析了薄膜常见的表面缺陷,如节瘤,孔洞的划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明,不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同。
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