Co−TiO2纳米复合薄膜中化学状态和磁电阻的基底温度依赖性

摘要

采用磁控溅射法在不同基底温度下制备Co−TiO2纳米复合薄膜。所合成的纳米复合薄膜由TiO2非晶基体和分散其中的Co颗粒组成,呈铁磁和超顺磁共存的特性。随着基底温度从室温升高到400℃,Co颗粒尺寸逐渐增大,氧化程度明显降低。因此,在Co含量相同的情况下,随着基底温度的升高(从室温升高至400℃),饱和磁化强度从0.13增加到0.43 T。在高基底温度下,一部分Co颗粒聚集形成导电路径,导致电阻率从1600快速下降至76μΩ·m。即使在电阻率低至76μΩ·m的情况下,依然能获得Co−TiO2的磁电阻性能。结果表明,纳米复合薄膜在室温下具有低Co氧化、高磁化强度和磁阻特性。