Effects of the Fabrication Processes of NC-Si： H Films on Their Mechanical Properties

著录项

• 来源
  《中国航空学报：英文版》 |2006年第B12期|202-205|共4页
• 作者

  LIN; Jin-zhao; WANG; Jin-liang; ZHOU; Bo; WU; Er-xing;

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• 作者单位

  Department;

  of;

  Physics,;

  Beijing;

  University;

  of;

  Aeronautics;

  and;

  Astronautics,;

  Beijing;

  100083,;

  China;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 TN304.055;
• 关键词

  氢化纳米晶硅; 制造过程; nc-Si：H薄膜; 机械性能; 纳米压痕法; 等离子体增强化学汽相沉积;

  机译：氢化纳米晶硅;制造过程;nc-Si：H薄膜;机械性能;纳米压痕法;等离子体增强化学汽相沉积;
• 入库时间 2022-08-19 04:18:17