半导体热式流速／流量传感器

摘要

本文介绍了恒功率型和恒温差型半导体热式流速／流量传感器的工作原理及其分别用于液体和气体的测量结果，传感器具有灵敏度高，结构简单，成本低的特点，有很大的实用价值，对于气流传感器，测量速度可高达５０ｍ／ｓ，对它作进一步改进速度可测得更高，可用于高速火车的气流测量。