微电子学、集成电路

摘要

TN4,TN305 97060399微机械加工技术—等离子体刻蚀/张光照,刘众(电子部49所)lj传感器技术一1997,16侈),一58一60 简要介绍了利用等离子体刻蚀技术制作背面接点的离子敏场效应管(IsFET)和马赫一增德(Mach一zchnder)干涉仪式压力传感器的方法.图5参4(许)TN4 97060400压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析/张健,沈德新,王渭源(中科院上海冶金所传感器技术联合开放国家重点实验室)Ij功能材料与器件学报.一1997,3(2)一95~102 压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现.文中采用了Rayle