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微电子光刻实验净化工作台设计

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提出了一种导流分压式双正压净化工作台.分析了该工作台的结构特征及工作原理.通过与常规垂直层流净化工作台的比较及实验结果分析,指出了该产品的经济性、优越性及应用前景.

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来源
《中国现代教育装备》 |2011年第5期|21-22,32|共3页
作者
王强; 施敏; 罗辰; 张丹;
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作者单位

南通大学,江苏南通,226019;

南通大学,江苏南通,226019;

南通大学,江苏南通,226019;

南通大学,江苏南通,226019;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
导流分压; 双正压; 净化工作台;

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