四自由度测量系统光束漂移抑制方法与系统

摘要

在机床导轨几何误差测量中,空气折射率不均匀造成的光束漂移会降低激光测量系统的检测精度,测量距离越远,影响越大.基于此,该文提出一种波纹管和气泵均匀化空气折射率的方法,抑制光漂的发生.以四自由度激光测量系统为对象,首先分析光束漂移机理,确定影响空气折射率的主要因素为温度与压强,给出轴向最大允许温度与压强梯度;其次通过流体仿真选取合适的波纹管内径,最后搭建实验系统并在不同条件下进行实验测试.结果表明:利用该系统可使四自由度激光测量系统的光束稳定性提高50％以上.该方法的可行性和有效性得到了验证.