亚分辨率辅助图形在0.11μm工艺上的应用

摘要

亚分辨率辅助图形(Sub Resolution Assist Features,SRAF)作为一种常用的分辨率增强技术(Resolution Enhancement Technique,RET),一般被应用于90nm及以下工艺节点。本文通过对SRAF规则(rule)的选择及验证,实现了0.11μm工艺在KrF光刻机上的量产。