德国科学家以SiGe芯片开发低成本气体分析仪

摘要

微电子技术研究机构IHP—Leibnizlnstitute以及德国航太研究中心（DLR），合作开发了一种尺寸小巧、具成本效益的气体质谱分析（gasspectroscopy）感测系统，应用于245GHz频率；而该系统也是全球第一套以锗硅（SiGe）芯片制作发送与接收器的系统。