陶瓷材料在微机电系统中的应用

摘要

在微机电系统(MEMS)中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料.本文分析了当前国内外在MEMS研究中的陶瓷材料的应用现状.着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及作为薄膜材料的应用,此外,还介绍了其它一些在MEMS中常见的陶瓷材料,如碳化硅、氮化硅、PZT压电陶瓷等材料的性能和应用.