六氟化硫中氟化氢标准气体制备

摘要

在实验室条件下采用渗透法动态制备六氟化硫中氟化氢标准气体。将装有氟化氢的渗透管置于一定温度、压力下,氟化氢以一定的渗透率扩散到渗透管外,通过六氟化硫连续、稳定地流过渗透管可得到稳定的不同浓度的标准气体。采用检测管和分光光度法验证了该方法的准确性,渗透法制备的氟化氢标准气体的目标值与测定值的相对偏差在±10%以内。当制备的六氟化硫中氟化氢标准气体的体积分数为11.56μL/L时,相对扩展不确定度为6.62%(k=2)。