一种新型光电位移传感器在Y-200圆度测量仪中的应用

摘要

设计了一种结构简单的完全非接触式光电位移传感器,应用ADS1210数字转换芯片处理光电位移信号,在软件设计方面通过对ADS1210的实时校正调节,可在-2～2 mm范围内移动时线性输出5 mV～4.95 V,外围电路位移可准确测量到0.1 μm;最后将所设计的光电传感器用于Y-200圆度测量仪测试钢球的圆度,试验结果表明测量精度较高,可靠性好.