DCM模式下等离子体电源的频率控制方法设计

摘要

针对材料表面改性用等离子体电源存在控制能力差、瞬时输出功率低、系统损耗大等问题,该文分析不同工作模式下电流波形对放电效果和输出功率的影响,确定采用DCM的工作模式,并设计了一种自适应频率控制方法。该控制方法通过DSP的eCAP模块捕获电流过零点,利用所得负载电流谐振频率结合DCM频率条件以及电流间断时间自适应调整全桥逆变电路的PWM周期和占空比,从而实现频率调节。实验结果表明,该控制方法不仅能够保证电路工作在DCM及ZCS状态,还能显著提升瞬时输出功率,减小系统损耗,改善材料表面改性效果。