MEMSic加速度传感器在气体微流量检测中的应用

摘要

根据MEMSic（微电子机械系统集成芯片）加速度传感器的工作原理及特点，将其应用于气体微流量检测中。经过具体实验验证，在不同温度下，采取一定的温度补偿措施，在气体流量从0到50sccm的变化范围内，MEMSic加速度传感器能够精确地测量出变化，说明了MEMSic加速度传感器对徽流量的检测具有较高的灵敏度和稳定性。