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Anders (o)sterberg; Steffen Schulze;
Micronic Lasef Systerrls AB;
Mentor Graphics Corp;
机译:嵌入式OPC:将激光打标机扩展到65/45 nm
机译:OPC因子对45-65岁健康成年人能量水平的影响:IIb期随机对照试验。
机译:基于(CO_(45)Fe_(45)Zr_(10))_(35)(Al_2O_3)_(65)的小角复合纳米结构对非均相复合纳米结构的小角衍射
机译:通过同时优化NA,照明和OPC,扩展到90-NM和65纳米节点的激进的低K1设计规则要求
机译:通过等离子增强应用的纳米掩膜技术制备亚10纳米金属结构
机译:OPC Factor™对45-65岁健康成年人能量水平的影响:IIb期随机对照试验
机译:关于将核和粒子物理强度前沿扩展到45 GeV(LampF 2)的提案
机译:从掩膜保护装置和带图案的掩膜之间的光刻机外壳清除气体
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