退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
宋兴龙;
上海微电子装备(集团)股份有限公司;
投影物镜; 测试台; 便利性设计; 集成流程;
机译:设计11纳米极紫外光刻节点的投影物镜
机译:高数值孔径EUV光刻八镜投影物镜的分组设计
机译:复消色差物镜和超消色差物镜的设计方法
机译:在数字接收器上直接投影图像的显微镜物镜的光学设计
机译:先进的自适应聚合物镜片的设计和开发。
机译:一种高度非线性替代盒(S-Box)设计使用模块化组在有限域上的投影线上的动作设计
机译:一种LMI方法,具有杆子放置物镜,用于考虑全局信号的阻尼区域跨度模式振荡的鲁棒SSSC控制器的设计
机译:FasTsaT-HsV01多指向物镜全磁姿态控制系统的设计与集成
机译:设计用于EUV的微光刻投影曝光设备的投影物镜和光学调整投影物镜的方法
机译:设计电路系统,扩展现有方法以评估电路设计的可行性,执行电路设计的可行性评估,完善电路设计的第一决策规则,形成电路设计的第二决策规则的方法电路设计,用于为多个预先设计的电路块组织设计者的经验数据,提高胶粘逻辑分配效率,并在设计块之间分配胶粘的多个逻辑元素,并分配胶粘逻辑以在集成电路设备设计中执行方案,转换特定于电路块的接口,选择电路收集器,设计一种包含使能设备测试以验证a正确操作的设备,并开发行为测试台,项圈接口和接口系统
机译:设计用于微光刻投影曝光设备的euv投影透镜,以及用于投影物镜的光学调节的方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。