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一种快速超高真空保护系统

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摘要

为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要,本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器.本文介绍超高真空计及快阀控制器的设计,给出了光束线和实验站真空联锁保护系统的应用实例.

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来源
《分析仪器》 |2000年第3期|5-8|共4页
作者
徐锡林; 汪啸; 姚传荣; 光霞;
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作者单位

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空技术;
关键词
真空计; 快阀; 快阀控制器; 真空联锁保护;

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