激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响

摘要

拍频干涉法可用于纳米，亚纳米级精度的位移测量，其测量不确定度主要敢决于单位频差－位移当非线性，本文对影响非线性的因素进行了试验分析和理论计算，结果表明，非线性范围为0.07-1.5nm.