同时测量物体五维几何偏差的新方法

摘要

详细分析了基于激光全息技术，激光准直技术，激光光束漂移补偿技术和磁光调制补偿技术的综合运行，以单一激光束为基准，同时测量物体五维偏差的基本原理。通过标定和实验测量，在激光光源距测量靶标１ｍ时，该测量系统σ精度为：线位移〈２μｍ角位移〈４″。