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旋转对称电子光学系统的五级几何像差分析

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摘要

本文将旋转对称电子光学系统五级几何像差按边界条件分成球差、彗差、亚像散和场曲、亚彗差、像散和场曲、畸变等六类,并分析各类像差在高斯像平面上的图像.

著录项

来源
《电子学报》|1999年第8期|67-69|共3页
作者
木崇俊; 陈尔纲; 高俊; 李川;
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作者单位

云南大学物理系,昆明,650091;

云南大学物理系,昆明,650091;

云南大学物理系,昆明,650091;

云南大学物理系,昆明,650091;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类通信;
关键词
旋转对称电子光学系统; 五级几何像差; 球差; 亚像散和场曲; 亚彗差;
入库时间 2022-08-18 02:33:45

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