空间扫描和傅里叶变换算法分析干涉图

摘要

对于含有载频条纹的干涉图,在垂直干涉条纹方向利用空间扫描方法,将干涉图幅照度数值化,通过傅里叶变换算法复原波面。本文在阐述上述原理和实验验证基础上,着重讨论灰度量化等级、载频频率、数字化采样点数、象素矩阵、波面形状等有关参数与方法原理误差的关系。对于虚拟理想干涉图分析计算表明:在优选诸参数情况下,方法的原理误差约为λ/50～λ/100。