叉指式高Q值可变电容仿真设计

摘要

提出了一种叉指式微机电系统(MEMS)可变电容设计方案,并从结构、电学特性、工艺三方面进行了仿真设计.由仿真结果可知:驱动电压为67 V时,该设计理论电容可调率3.45,电容调节范围88.16～392.19 fF,谐振频率36 GHz,Q值223(1 GHz),反射衰减0.002 25 dB,插入损耗42.75 dB.与其他形式可变电容相比,该设计理论电容具有高Q值、高电容可调率和工艺简单的技术优势.