University of Illinois at Urbana-Champaign.;
Electron emission; Fee; Ferroelectric electron emission; Ferroelectric plasma source; Ferroelectricity; Ferroelectrics; Fps; Ion emission; Lead zirconate titanate; Pzt;
机译:暴露在激光产生的等离子体中和放电产生的等离子体极端紫外线源之前和之后的收集器光学材料样品的特性
机译:大气压溶液溶液排出等离子体直接气体注射系统的开发,用于等离子体劣化和材料合成
机译:大气压溶液溶液排出等离子体直接气体注射系统的开发,用于等离子体劣化和材料合成
机译:气体放电生产的等离子Z夹EUV气源的开发现状,用于β工具和大批量芯片制造工具
机译:使用电感和电容耦合的碳氟化合物放电对电介质材料进行等离子蚀刻:表面化学机理的研究。
机译:接近理想表面的铁电材料的本征单域开关
机译:850 mHz表面波等离子体源的开发和等离子体表征
机译:用于sITEX(横向提取的表面电离)和VITEX(带横向提取的体积电离)离子源的等离子体发生器的放电特性