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致谢
1 绪论
1.1引言
1.2氮化硅陶瓷材料概述
1.2.1氮化硅陶瓷的晶体结构
1.2.2氮化硅陶瓷的性能
1.2.3氮化硅陶瓷的应用
1.2.4氮化硅陶瓷的制备工艺
1.3透波材料的研究现状
1.3.1有机透波材料的研究现状
1.3.2无机透波材料的研究现状
1.3.3透波材料的发展展望
1.4氮化硅基陶瓷天线罩材料的研究与应用
1.4.1国外研究现状
1.4.2国内研究现状
1.5凝胶注模成型
1.5.1凝胶注模成型技术简介
1.5.2 Si3N4/Si凝胶注模成型研究现状
1.6论文的研究内容与意义
1.6.1研究目的、内容和意义
1.6.2创新点
2 实验方法
2.1实验原料
2.1.1硅粉
2.1.2氮化硅粉
2.1.3其它实验用品
2.1.4高纯氮气
2.2实验仪器与设备
2.3实验过程
2.3.1技术关键与工艺路线
2.3.2实验步骤
2.3.3组分设计
2.3.4烧结工艺设计
2.3.5烧结试样标号
2.4性能测试方法
2.4.1密度及气孔率测试
2.4.2弯曲强度测试
2.4.3介电性能测试
2.4.4 XRD分析
2.4.5 SEM分析
3 氮化硅透波材料的制备
3.1 引言
3.2 Si3N4/Si坯体的制备工艺研究
3.2.1凝胶注模成型原理
3.2.2 Si3N4/Si凝胶注模成型实验
3.2.3 Si3N4/si坯体SEM分析
3.3 Si3N4/Si坯体干燥与排胶
3.3.1干燥
3.3.2排胶
3.4 Si3N4透波材料的烧结工艺研究
3.4.1 Si3N4材料的反应烧结理论
3.4.2 Si3N4透波材料烧结工艺
3.4.3 XRD物相分析
3.4.4烧结助剂的影响机理
3.4.5氮化率的影响因素讨论
3.5本章小结
4 性能测试结果及分析
4.1 引言
4.2密度测试结果及分析
4.2.1材料密度随烧结温度的变化
4.2.2材料密度随组分的变化
4.3气孔率测试结果及分析
4.3.1材料表面气孔率随烧结温度的变化
4.3.2表面气孔率随组分的变化
4.4弯曲强度测试结果及分析
4.4.1材料弯曲强度随烧结温度的变化
4.4.2材料弯曲强度随组分的变化
4.5介电性能测试结果及分析
4.5.1材料介电性能随烧结温度的变化
4.5.2材料介电性能随组分的变化
4.6微观分析
4.6.1 Group-Ⅰ烧结试样SEM分析
4.6.2 Group-Ⅲ烧结试样SEM分析
4.6.3 Group-Ⅴ烧结试样SEM分析
4.6.4 1450℃各组分烧结试样SEM分析
4.6.5 1550℃各组分烧结试样SEM分析
4.7本章小结
5 结论
参考文献
作者简历