声明
致谢
摘要
1 引言
1.1 选题的背景与意义
1.1.1 生产多晶硅的意义
1.1.2 国内外多晶硅生产技术的现状
1.1.3 多晶硅铸锭炉系统研究现状及发展趋势
1.2 本论文的主要研究工作
1.3 本章小结
2 多晶硅双体铸锭炉加热电源系统方案
2.1 多晶硅双体铸锭炉加热电源方案设计
2.2 多晶硅双体铸锭炉加热电源系统的整体结构
2.3 多晶硅双体铸锭炉加热电源的工作原理
2.3.1 单相交流调功电路的工作原理
2.3.2 三相交流调功电路的工作原理
2.4 本章总结
3 多晶硅双体铸锭炉加热电源的电路设计与分析
3.1 主电路方案
3.1.1 技术指标
3.1.2 主电路结构
3.1.3 交流调功电路的谐波分析
3.1.4 调功电路变压器的伏秒积分分析
3.1.5 初相角对系统稳定性的影响
3.2 关键器件选型
3.2.1 晶闸管的选型
3.2.2 工频变压器的设计
3.2.3 其它器件的选择
3.3 多晶硅双体铸锭炉加热电源的实物照片
3.4 本章总结
4 加热电源控制系统的设计
4.1 系统控制策略研究
4.1.1 系统控制方法
4.1.2 软件程序流程
4.2 控制电路的硬件设计
4.2.1 模拟信号处理部分
4.2.2 数字信号处理部分
4.2.3 PWM控制部分
4.2.4 通信
4.3 本地人机交互平台
4.4 本章总结
5 加热电源系统的的仿真及实验结果分析
5.1 仿真分析
5.2 实验结果及分析
5.3 系统的优势
5.4 本章总结
结论
参考文献
作者简历
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