声明
致谢
摘要
1 引言
1.1 选题的目的和意义
1.2 国内外研究现状
1.2.1 常用测量方法简介
1.2.2 国内外发展现状
1.3 课题主要研究内容
2 系统工作原理及整体方案设计
2.1 引言
2.2 基于CCD测量系统整体方案设计
2.3 光幕法测量原理
2.3.1 相机CCD标定
2.3.2 CCD图像边界提取
2.4 衍射法测量原理
2.4.1 巴比涅原理
2.4.2 夫琅和费衍射原理
2.5 本章小结
3 基于CCD直径测量系统的数据处理研究
3.1 引言
3.2 光幕法测量直径数据处理方法
3.2.1 测量系统构成
3.2.2 CCD像素标定
3.2.3 光幕法测量结果
3.2.4 数据处理优化
3.3 衍射法测量直径衍射花样处理方法
3.3.1 测量系统构成
3.3.3 衍射花样处理
3.4 亚像素分析
3.5 误差分析
4 基于CCD直径测量系统软件设计与优化
4.1 引言
4.2 数据处理软件设计
4.3 在线测量结果及存在问题
5 总结与展望
参考文献
作者简历及攻读硕士/博士学位期间取得的研究成果
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