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光学干涉计量中的位相测量方法研究

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目录

文摘

英文文摘

简况表

第一章绪论

1.1引言

1.2光学干涉理论

1.2.1电磁场理论

1.2.2波动方程

1.2.3干涉理论

1.3常见的干涉测量方法

1.3.1经典干涉方法

1.3.2光弹性学

1.3.3云纹干涉

1.3.4全息干涉

1.3.5散斑干涉

1.4位相的重要性

1.5位相测量的关键问题

1.6主要的位相测量方法

1.7位相测量方法的优点

1.8本文的主要工作和创新之处

第二章位相测量方法综述

2.1条纹中心法

2.2外差法

2.3时间相移法

2.3.1概述

2.3.2时间相移法基本原理

2.3.3产生相移的方法

2.3.4相移算法

2.4空间相移法

2.4.1概述

2.4.2分光镜+偏振相移

2.4.3光栅分光+偏振相移

2.4.4光栅分光+光栅相移

2.5 Fourier变换法

2.5.1概述

2.5.2 Fourier变换法基本原理

2.5.3 Fourier变换法的主要研究内容

2.6空间载波相移方法

2.6.1概述

2.6.2空间载波相移方法原理

2.7位相展开

2.7.1概述

2.7.2额外信息法

2.7.3局部展开法

2.7.4全局展开法

2.8本章小节

第三章时间相移法:定步长相移算法的设计

3.1概述

3.2相移算法设计方法

3.2.1同步探测法

3.2.2最小二乘法和极大似然估计

3.2.3位相平均法

3.2.4 Fourier分析法

3.2.5待定系数法

3.2.6特征多项式法

3.2.7递归法

3.3相移算法设计的待定系数法

3.3.1方法描述

3.3.2算法对线性相移量误差的补偿

3.3.3算法对二次相移量误差的补偿

3.3.4算法对探测器二次误差的补偿

3.4用待定系数法设计定步长相移算法

3.4.1用待定系数法设计定步长相移算法的一个实例

3.4.2用待定系数法设计的定步长相移算法

3.5本章小结

第四章时间相移方法:等步长相移算法相移步长的范围和最佳值的确定

4.1概述

4.2 Carré算法相移步长范围和最佳相移步长的确定

4.2.1 Carré算法简介

4.2.2 Carré算法相移步长范围的确定

4.1.3 Carré算法的最佳相移步长的确定

4.3 Stoilov算法最佳相移步长的确定

4.3.1 Stoilov算法的推导

4.3.2 Stoilov算法最佳相移步长的确定

4.3.3 Stoilov算法与其它算法的比较

4.4本章小结

第五章空间相移法:基于正交位相Ronchi光栅的实时偏振相移系统

5.1概述

5.2基于位相Ronchi光栅的实时偏振相移系统的原理

5.2.1偏振相移原理

5.2.2位相Ronchi光栅的分光特性

5.2.3基于位相Ronchi光栅的实时偏振相移系统的原理

5.3基于位相Ronchi光栅的实时偏振相移系统及初步实验结果

5.3.1实时偏振相移马赫—曾德干涉系统及对折射率变化的测量

5.3.2实时偏振相移云纹干涉系统及对面内位移的测量

5.3.3实时偏振相移散斑干涉系统及对离面位移的测量

5.4基于位相Ronchi光栅的实时偏振相移系统的误差分析

5.4.1实时偏振相移方法的误差源

5.4.2光路系统误差分析

5.4.3位置匹配误差

5.4.4误差分析总结

5.5本章小结

第六章Fourier变换方法:窗函数的选择和载波频率的确定

6.1概述

6.2窗函数的选择

6.2.1问题的提出

6.2.2频谱泄漏问题的通常解决方法

6.2.3 Fourier变化方法加窗的可行性

6.2.4在Fourier变换位相提取方法中加窗的特殊性

6.2.5窗函数选择的理论分析

6.2.6窗函数选择的数值模拟

6.3对载波频率确定的讨论

6.3.1概述

6.3.2一种新的解决载波频率确定问题的方法

6.4本章小结

附录窗函数的定义

第七章空间载波相移方法:相邻像素位相的二次曲线关系假设和处理

7.1概述

7.2空间载波相移方法的基本原理

7.3空间载波相移方法的改进

7.3.1位相的二次曲线近似和等价相移量误差的引入

7.3.2五步相移算法的选择和误差分析

7.4采用五步算法的空间载波相移方法的数值模拟

7.5本章小结

第八章位相展开:基于调制度分析的加权最小二乘法

8.1概述

8.2位相展开的最小二乘法与加权最小二乘法

8.2.1位相展开的最小二乘法

8.2.2位相展开的加权最小二乘法

8.2.3采用最小二乘法和加权最小二乘法进行位相展开的简单例子

8.3基于调制度分析的加权最小二乘法

8.3.1调制度及其计算

8.3.2基于调制度分析的加权最小二乘法位相展开

8.4本章小结

第九章总结与展望

参考文献

作者在攻读博士学位期间发表的论文

致谢

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摘要

该文在文献综述的基础上,对位相测量的许多方面做了详细的研究和改进,包括:(1)时间相移方法中,采用待定系数法获得了一系列简单、实用、性能良好的等步长相移算法;(2)时间相移方法中,通过误差分析的方法研究讨论了不长相移算法中相移步长的选取问题.给出了合适的相移步长的选择依据;(3)空间相移方法中,提出和实现了基于正交位相Ronchi光棚的实时偏移系统,分析了误差特性;(4)载波条纹的Fourier变换方法中,详细研究了窗函数的选择和评价设计者载波频率的确定问是;(5)人间载波相移方法中,对载波图相邻像素的位相关系采用二次曲线描述,可极大提高空间载波相移方法的理论精度.(6)位相展开中,发展了基于调制度分析的加权最小二乘法,数值计算和实际例子都证实了其有效性.

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