光学元件表面质量对激光损伤特性的影响

目录

摘要

1绪论

1．1课题研究目的及意义

1．2国内外研究现状

1．2．1国外研究现状

1．2．2国内研究现状

1．3本文的研究内容及工作重点

1．3．1本文的主要研究内容

1．3．2本文的主要工作重点

1．4论文章节安排

2光学元件的激光损伤基本理论

2．1激光与光学元件的相互作用过程

2．2激光损伤的定义与判别方法

2．2．1激光损伤阈值

2．2．2激光损伤测试

2．3光学元件激光损伤仿真分析研究

2．3．1未镀膜光学元件激光损伤仿真分析研究

2．3．2镀膜光学元件激光损伤仿真分析研究

2．4本章小结

3光学元件表面微观特征与加工工艺的相关性研究

3．1典型抛光工艺制备样件

3．1．2磁流变抛光制备样件

3．1．3传统抛光制备样件

3．2加工方法与元件表面质量关系实验研究

3．2．1离子束抛光与元件表面质量关系实验研究

3．2．2磁流变抛光与元件表面质量关系实验研究

3．2．3传统抛光与元件表面质量关系实验研究

3．2．4不同抛光工艺下的光学元件表面微观结构对比研究

3．3镀膜光学元件表面质量分析

3．4本章小结

4光学元件激光损伤特性与加工工艺的相关性研究

4．1散射仪测量原理及参数

4．1．1散射仪测量原理

4．1．2散射仪测量参数

4．2传统抛光光学元件激光损伤实验研究

4．3磁流变抛光光学元件激光损伤实验研究

4．3．1磁流变抛光K9玻璃激光损伤实验研究

4．3．2磁流变抛光熔石英玻璃激光损伤实验研究

4．4离子束抛光光学元件激光损伤实验研究

4．4．1离子束抛光K9玻璃激光损伤实验研究

4．4．2离子束抛光熔石英玻璃激光损伤实验研究

4．5加工工艺对近红外激光损伤特性的影响机理分析

4．6本章小结

5镀膜样品的近红外激光损伤特性分析研究

5．1离子束抛光镀膜样品的抗激光损伤性能分析

5．2磁流变抛光镀膜样品的抗激光损伤性能分析

5．3传统抛光镀膜样品的抗激光损伤性能分析

5．4镀膜对光学元件近红外激光损伤特性的影响分析

5．5本章小结

6结论与展望

6．1结论

6．2展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

声明