高反射镜表面激光散射多参数分布表征技术研究

目录

摘要

1绪论

1．1研究背景与意义

1．2国内外研究现状

1．2．1成像法

1．2．2散射测量法

1．3高反射镜表面激光散射多参数分布表征技术

1．4本文研究内容和结构安排

1．4．1本文主要研究目的

1．4．2本文主要研究内容

1．4．3研究的重点工作

1．4．4本文结构安排

2光学散射理论

2．1随机粗糙表面微观轮廓的统计描述

2．1．1均方根粗糙度、高度分布函数、功率谱密度函数(PSD)

2．1．2双向分布散射理论

2．1．3角分辨散射测量理论

2．1．4积分散射测量理论

2．1．5散射理论小结

2．2微弱信号检测原理

2．2．1相关检测理论

2．2．2锁相放大器

2．2．3取样积分器与光子计数器

2．3本章小结

3暗场显微散射成像系统光源研究

3．1暗场显微散射成像系统检测原理分析

3．2光源选择

3．3CCD参数选择

3．4光斑大小选择与光束扩束

3．5照明光源系统

3．5．1划痕疵病方向与入射光线投影方向关系

3．5．2单光源照明

3．5．3双光源照明

3．5．4三光源照明

3．3．5十三束光源照明

3．3．6光幕光源照明

3．6本章小结

4暗场显微散射成像系统光路整体方案设计与图像采集

4．1显微成像放大光路

4．1．2显微成像放大光路设计

4．2部分机械结构设计

4．2．1光源整形器件设计

4．2．2照明光源部分

4．2．3陷光器的结构设计

4．2．4夹持结构设计

4．2．5系统整体搭建图

4．3暗场显微散射成像检测实验与分析

4．3．1系统调试

4．3．2系统精度验证

4．3．3 1倍与2倍检测实验

4．3．4 10倍检测实验

4．4本章小结

5激光散射多参数分布表征以及误差分析

5．1积分散射测量系统搭建

5．2光源选择、调制与能量控制

5．3积分散射测量系统动态范围分析

5．3．2锁相放大器动态范围分析

5．3．3基准电压测量

5．4散射电压测量

5．5散射率计算

5．6高反射镜表面激光散射多参数分布表征技术

5．6．1误差分析

5．6．2暗场显微散射成像系统误差

5．6．3积分散射测量系统误差

5．6本章小结

6结论与展望

6．1结论

6．2课题展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

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